FeCoTa スパッタリング ターゲット高純度薄膜 Pvd コーティングのカスタムメイド
鉄 コバルト タンタル
鉄コバルトタンタルターゲットは通常、円形で垂直磁気記録媒体の重要な薄膜材料で入手可能です。合金中にかなりの量のタンタルが存在すると、偏析が生じ、未溶解の粒子が存在します。当社は、微細構造の均質性を確保し、材料の機械的特性を向上させる独自の製造方法を採用しています。
| 製品名 | フェコタ | |||
| Fe/wt% | バランス | バランス | バランス | |
| Co/wt% | 21.6±0.5 | 21.9±0.5 | 20.2±0.5 | |
| Ta/wt% | 41.1±0.8 | 39.4±0.8 | 44.3±0.8 | |
| 金属不純物含有量（ppm） | Ni | ≤100 | ≤100 | ≤100 |
| Al | ≤300 | ≤300 | ≤300 | |
| Si | ≤200 | ≤200 | ≤200 | |
| ガス不純物含有量（ppm） | C | ≤200 | ≤200 | ≤200 |
| N | ≤100 | ≤100 | ≤100 | |
| O | ≤600 | ≤600 | ≤600 | |
| S | ≤75 | ≤75 | ≤75 | |
リッチスペシャルマテリアルズはスパッタリングターゲットの製造を専門としており、お客様の仕様に応じて鉄・コバルト・タンタルスパッタリング材料を生産することができます。詳細については、お問い合わせください。
