அதி உயர் தூய்மை அலுமினியம் ஸ்பட்டரிங் இலக்குகளின் சிறப்பியல்புகள்

சமீபத்திய ஆண்டுகளில், ஒருங்கிணைந்த மின்சுற்று (IC) தொழில்நுட்பத்தின் முன்னேற்றத்துடன், ஒருங்கிணைந்த சுற்றுகளின் தொடர்புடைய பயன்பாடுகள் வேகமாக உருவாக்கப்பட்டுள்ளன. அல்ட்ரா உயர் தூய்மை அலுமினியம் அலாய் ஸ்பட்டரிங் இலக்கு, ஒருங்கிணைந்த மின்சுற்று மெட்டல் இன்டர்கனெக்ட்களை தயாரிப்பதில் துணைப் பொருளாக உள்ளது, இது சமீபத்திய உள்நாட்டு ஆராய்ச்சியில் பரபரப்பான விஷயமாக மாறியுள்ளது. உயர் தூய்மையான அலுமினிய அலாய் ஸ்பட்டரிங் இலக்கின் பண்புகளை RSM இன் எடிட்டர் நமக்குக் காண்பிக்கும்.

மேக்னட்ரான் ஸ்பட்டரிங் இலக்கின் ஸ்பட்டரிங் செயல்திறனை மேலும் மேம்படுத்துவதற்கும், டெபாசிட் செய்யப்பட்ட படங்களின் தரத்தை உறுதி செய்வதற்கும், அதிக எண்ணிக்கையிலான சோதனைகள், அதி-உயர் தூய்மை அலுமினிய அலாய் ஸ்பட்டரிங் இலக்கின் கலவை, நுண் கட்டமைப்பு மற்றும் தானிய நோக்குநிலைக்கு சில தேவைகள் இருப்பதைக் காட்டுகின்றன.

இலக்கின் தானிய அளவு மற்றும் தானிய நோக்குநிலை ஆகியவை IC படங்களின் தயாரிப்பு மற்றும் பண்புகளில் பெரும் தாக்கத்தை ஏற்படுத்துகின்றன. தானிய அளவு அதிகரிப்பதன் மூலம் படிவு விகிதம் குறைகிறது என்று முடிவுகள் காட்டுகின்றன; அதே கலவை கொண்ட ஸ்பட்டரிங் இலக்குக்கு, சிறிய தானிய அளவு கொண்ட இலக்கின் ஸ்பட்டரிங் வீதம் பெரிய தானிய அளவு கொண்ட இலக்கை விட வேகமாக இருக்கும்; இலக்கின் தானிய அளவு எவ்வளவு சீரானது, டெபாசிட் செய்யப்பட்ட படங்களின் தடிமன் விநியோகம் மிகவும் சீரானது.

அதே sputtering கருவி மற்றும் செயல்முறை அளவுருக்கள் கீழ், Al Cu அலாய் இலக்கின் sputtering விகிதம் அணு அடர்த்தி அதிகரிப்புடன் அதிகரிக்கிறது, ஆனால் அது பொதுவாக ஒரு வரம்பில் நிலையானது. தானிய அளவின் தாக்கம், தானிய அளவின் மாற்றத்துடன் அணு அடர்த்தியின் மாற்றத்தால் ஸ்பட்டரிங் வீதத்தில் ஏற்படுகிறது; படிவு விகிதம் முக்கியமாக Al Cu அலாய் இலக்கின் தானிய நோக்குநிலையால் பாதிக்கப்படுகிறது. (200) படிக விமானங்களின் விகிதத்தை உறுதி செய்வதன் அடிப்படையில், (111), (220) மற்றும் (311) படிக விமானங்களின் விகிதத்தின் அதிகரிப்பு படிவு விகிதத்தை அதிகரிக்கும்.

அதி-உயர் தூய்மை அலுமினியம் அலாய் இலக்குகளின் தானிய அளவு மற்றும் தானிய நோக்குநிலை ஆகியவை முக்கியமாக இங்காட் ஹோமோஜெனிசேஷன், ஹாட் ஒர்க்கிங் மற்றும் ரீகிரிஸ்டலைசேஷன் அனீலிங் மூலம் சரிசெய்யப்பட்டு கட்டுப்படுத்தப்படுகின்றன. செதில் அளவு 20.32cm (8in) மற்றும் 30.48cm (12in) ஆக வளர்ச்சியடைவதன் மூலம், இலக்கு அளவும் அதிகரித்து வருகிறது, இது அதி-உயர் தூய்மை அலுமினிய அலாய் ஸ்பட்டரிங் இலக்குகளுக்கு அதிக தேவைகளை முன்வைக்கிறது. படத்தின் தரம் மற்றும் விளைச்சலை உறுதி செய்வதற்காக, இலக்குச் செயலாக்க அளவுருக்கள் இலக்கு நுண் கட்டமைப்பை சீரானதாக மாற்ற கண்டிப்பாகக் கட்டுப்படுத்தப்பட வேண்டும் மற்றும் தானிய நோக்குநிலை வலுவான (200) மற்றும் (220) விமான அமைப்புகளைக் கொண்டிருக்க வேண்டும்.