Tao anatin'ny taona vitsivitsy izay, miaraka amin'ny fivoaran'ny teknolojian'ny circuit integrated (IC), ny fampiharana mifandraika amin'ny circuit integrated dia novolavolaina haingana. Ny lasibatra firaka amin'ny firaka aluminium madio indrindra, ho fitaovana fanohanana amin'ny famokarana fifandraisana metaly mitambatra, dia lasa lohahevitra mafana amin'ny fikarohana an-trano vao haingana. Ny tonian'ny RSM dia hampiseho amintsika ny toetran'ny lasibatra firaka aluminium madio indrindra.
Mba hanatsarana bebe kokoa ny sputtering fahombiazan'ny magnetron sputtering kendrena sy hiantoka ny kalitaon'ny napetraka ny sarimihetsika, be dia be ny fanandramana mampiseho fa misy fepetra sasany ho an'ny composition, microstructure sy ny vary orientation ny ultra-avo ny fahadiovana aluminium firaka sputtering kendrena.
Ny haben'ny varimbazaha sy ny fiorenan'ny voamaina dia misy fiantraikany lehibe amin'ny fanomanana sy ny fananan'ny sarimihetsika IC. Ny vokatra dia mampiseho fa mihena ny taham-pahavitrihana amin'ny fitomboan'ny haben'ny voa; Ho an'ny kendrena sputtering miaraka amin'ny singa mitovy, ny tahan'ny sputtering ny kendrena amin'ny haben'ny voa kely dia haingana kokoa noho ny tanjona amin'ny haben'ny voa lehibe; Arakaraky ny fanamiana ny haben'ny voan'ny kendrena, ny fizaran'ny hatevin'ny sarimihetsika napetraka.
Eo ambanin'ny fitaovana manetriketrika sy ny masontsivana dingana, mitombo ny taham-pitomboan'ny kendrena Al Cu alloy miaraka amin'ny fitomboan'ny hakitroky atomika, saingy amin'ny ankapobeny dia miorina amin'ny sehatra iray. Ny fiantraikan'ny haben'ny voa amin'ny tahan'ny sputtering dia vokatry ny fiovan'ny hakitroky atomika miaraka amin'ny fiovan'ny haben'ny voa; Ny tahan'ny deposition dia voakasika indrindra amin'ny orientation ny vary Al Cu firaka kendrena. Miorina amin'ny fiantohana ny ampahany amin'ny fiaramanidina kristaly (200), ny fitomboan'ny ampahany amin'ny fiaramanidina kristaly (111), (220) ary (311) dia hampitombo ny tahan'ny deposition.
Ny haben'ny varimbazaha sy ny fiorenan'ny lasibatra amin'ny firaka aluminium madio indrindra dia amboarina sy fehezin'ny homogenization ingot, ny fiasana mafana ary ny recrystallization annealing. Miaraka amin'ny fivoaran'ny haben'ny wafer amin'ny 20.32cm (8in) sy 30.48cm (12in), dia mitombo ihany koa ny haben'ny kendrena, izay mametraka fepetra ambony kokoa ho an'ny lasibatra firaka aluminium madio indrindra. Mba hiantohana ny kalitaon'ny horonan-tsary sy ny vokatra dia tsy maintsy fehezina tsara ny mari-pamantarana fanodinana kendrena mba hahatonga ny fanamiana microstructure kendrena ary ny fiorenan'ny voamaina dia tsy maintsy manana lamina matanjaka (200) sy (220).
Fotoana fandefasana: Jun-30-2022