ໃນຊຸມປີມໍ່ໆມານີ້, ດ້ວຍຄວາມກ້າວຫນ້າຂອງເຕັກໂນໂລຢີຂອງວົງຈອນປະສົມປະສານ (IC), ຄໍາຮ້ອງສະຫມັກທີ່ກ່ຽວຂ້ອງຂອງວົງຈອນປະສົມປະສານໄດ້ຖືກພັດທະນາຢ່າງໄວວາ. ໂລຫະປະສົມອາລູມິນຽມທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງ ultra ສູງ sputtering ເປົ້າຫມາຍ, ເປັນອຸປະກອນການສະຫນັບສະຫນູນໃນການຜະລິດຂອງການເຊື່ອມຕໍ່ໂລຫະວົງຈອນປະສົມປະສານ, ໄດ້ກາຍເປັນຫົວຂໍ້ຮ້ອນໃນການຄົ້ນຄວ້າພາຍໃນບໍ່ດົນມານີ້. ບັນນາທິການຂອງ RSM ຈະສະແດງໃຫ້ພວກເຮົາເຫັນຄຸນລັກສະນະຂອງໂລຫະປະສົມອາລູມິນຽມທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງ sputtering ເປົ້າຫມາຍ.
ເພື່ອປັບປຸງປະສິດທິພາບ sputtering ເພີ່ມເຕີມຂອງເປົ້າຫມາຍ sputtering magnetron ແລະຮັບປະກັນຄຸນນະພາບຂອງຮູບເງົາທີ່ຝາກໄວ້, ຈໍານວນຂະຫນາດໃຫຍ່ຂອງການທົດລອງສະແດງໃຫ້ເຫັນວ່າມີຄວາມຕ້ອງການສະເພາະໃດຫນຶ່ງສໍາລັບອົງປະກອບ, microstructure ແລະການກໍານົດທິດທາງເມັດພືດຂອງເປົ້າຫມາຍ sputtering ໂລຫະປະສົມອາລູມິນຽມຄວາມບໍລິສຸດ ultra-ສູງ.
ຂະຫນາດເມັດພືດແລະການກໍານົດທິດທາງຂອງເມັດພືດມີອິດທິພົນຢ່າງຫຼວງຫຼາຍຕໍ່ການກະກຽມແລະຄຸນສົມບັດຂອງຮູບເງົາ IC. ຜົນໄດ້ຮັບສະແດງໃຫ້ເຫັນວ່າອັດຕາເງິນຝາກຫຼຸດລົງກັບການເພີ່ມຂຶ້ນຂອງຂະຫນາດເມັດພືດ; ສໍາລັບເປົ້າຫມາຍ sputtering ທີ່ມີອົງປະກອບດຽວກັນ, ອັດຕາການ sputtering ຂອງເປົ້າຫມາຍທີ່ມີຂະຫນາດເມັດພືດຂະຫນາດນ້ອຍແມ່ນໄວກວ່າເປົ້າຫມາຍທີ່ມີຂະຫນາດເມັດໃຫຍ່; ຂະຫນາດເມັດພືດທີ່ເປັນເອກະພາບຫຼາຍຂຶ້ນ, ການແຜ່ກະຈາຍຄວາມຫນາຂອງຮູບເງົາທີ່ຝາກໄວ້ມີຄວາມເປັນເອກະພາບຫຼາຍຂຶ້ນ.
ພາຍໃຕ້ເຄື່ອງມື sputtering ດຽວກັນແລະຕົວກໍານົດການຂະບວນການ, ອັດຕາການ sputtering ຂອງເປົ້າຫມາຍໂລຫະປະສົມ Al Cu ເພີ່ມຂຶ້ນດ້ວຍການເພີ່ມຄວາມຫນາແຫນ້ນຂອງປະລໍາມະນູ, ແຕ່ໂດຍທົ່ວໄປແລ້ວມັນມີຄວາມຫມັ້ນຄົງໃນລະດັບໃດຫນຶ່ງ. ຜົນກະທົບຂອງຂະຫນາດເມັດພືດໃນອັດຕາ sputtering ແມ່ນເນື່ອງມາຈາກການປ່ຽນແປງຂອງຄວາມຫນາແຫນ້ນຂອງປະລໍາມະນູກັບການປ່ຽນແປງຂອງຂະຫນາດເມັດພືດ; ອັດຕາການຝາກຝັງໄດ້ຮັບຜົນກະທົບຕົ້ນຕໍໂດຍການກໍານົດທິດທາງເມັດພືດຂອງ Al Cu ເປົ້າຫມາຍໂລຫະປະສົມ. ບົນພື້ນຖານການຮັບປະກັນອັດຕາສ່ວນຂອງ (200) ຍົນໄປເຊຍກັນ, ການເພີ່ມຂຶ້ນຂອງອັດຕາສ່ວນຂອງ (111), (220) ແລະ (311) ຍົນໄປເຊຍກັນຈະເພີ່ມອັດຕາການ deposition.
ຂະຫນາດເມັດພືດແລະທິດທາງຂອງເມັດພືດຂອງເປົ້າຫມາຍໂລຫະປະສົມອາລູມິນຽມທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງທີ່ສຸດແມ່ນຖືກປັບແລະຄວບຄຸມໂດຍການປະສົມເຂົ້າກັນ, ການເຮັດວຽກຮ້ອນແລະການຫມຸນຄືນໃຫມ່. ດ້ວຍການພັດທະນາຂະຫນາດ wafer ເປັນ 20.32cm (8in) ແລະ 30.48cm (12in), ຂະຫນາດເປົ້າຫມາຍຍັງເພີ່ມຂຶ້ນ, ເຊິ່ງເຮັດໃຫ້ຄວາມຕ້ອງການທີ່ສູງຂຶ້ນສໍາລັບເປົ້າຫມາຍ sputtering ອະລູມິນຽມທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງ. ເພື່ອຮັບປະກັນຄຸນນະພາບຂອງຮູບເງົາແລະຜົນຜະລິດ, ຕົວກໍານົດການປະມວນຜົນເປົ້າຫມາຍຕ້ອງໄດ້ຮັບການຄວບຄຸມຢ່າງເຂັ້ມງວດເພື່ອເຮັດໃຫ້ໂຄງສ້າງຈຸນລະພາກເປົ້າຫມາຍເປັນເອກະພາບແລະທິດທາງຂອງເມັດພືດຕ້ອງມີຄວາມເຂັ້ມແຂງ (200) ແລະ (220) ໂຄງສ້າງຍົນ.
ເວລາປະກາດ: ມິຖຸນາ-30-2022