Tehnički konsultant RSM-a će sa vama podijeliti prednosti cilindričnih i planarnih magnetronskih meta za raspršivanje? U poređenju s drugim magnetronskim metama za raspršivanje, cilindrične i planarne mete za raspršivanje magnetrona zadržavaju prednosti dobre uniformnosti prevlake pravokutnih ravnih meta i mogu maksimalno iskoristiti mete na sljedeća dva načina:
(1) Kada dvije grupe (četiri) prstenastih jama na površini mete dostignu određenu dubinu, ciljno jezgro (magnetni dio) može se zarotirati za 45° u odnosu na ciljnu cijev, tako da druga područja na ciljnoj cijevi koji nisu korodirani mogu se koristiti;
(2) Kada je ciljno jezgro cilindrične i planarne mete za raspršivanje magnetrona dizajnirano kao rotirajuće ciljno jezgro (jezgro mete se rotira tokom raspršivanja), površina mete može se ravnomjerno raspršiti sloj po sloj bez udubljenja. U ovom trenutku, meta će se koristiti najefikasnije, a stopa iskorištenja mete može doseći 50% ~ 60% Kada je ciljni materijal plemeniti metal, ovo je očigledno od velikog značaja.
Koristeći princip magneta sa snopom u koaksijalnoj cilindričnoj meti za raspršivanje magnetrona za rješavanje problema krajnjeg magnetnog polja, pravokutna ravna meta može se transformirati u cilindričnu i ravnu metu za raspršivanje magnetrona, cilj može maksimizirati stopu iskorištenja mete zadržavajući dobru uniformnost premaza pravougaone ravne mete kako bi se poboljšale ekonomske koristi.
Vrijeme objave: Jul-04-2022