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Progresso da pesquisa em materiais alvo de revestimento por pulverização catódica de liga de alumínio e titânio

A liga de titânio e alumínio é um alvo de pulverização catódica para deposição a vácuo. Alvos de liga de titânio e alumínio com diferentes características podem ser obtidos ajustando o teor de titânio e alumínio nesta liga. Os compostos intermetálicos de titânio e alumínio são materiais duros e quebradiços com boa resistência ao desgaste. Eles são revestidos com uma camada de compostos intermetálicos de titânio e alumínio na superfície das ferramentas de corte comuns, o que pode efetivamente prolongar a vida útil das ferramentas. Se a pulverização catódica for realizada com início do arco de descarga de nitrogênio, pode-se obter uma máscara facial de superfície de alta dureza e baixo coeficiente de atrito, que é especialmente adequada para o revestimento superficial de diversas ferramentas, moldes e outras peças vulneráveis. Portanto, tem uma boa perspectiva de aplicação na indústria de usinagem.

A preparação de alvos de liga de titânio e alumínio é relativamente difícil. De acordo com o diagrama de fases da liga de titânio e alumínio, vários compostos intermetálicos podem ser formados entre o titânio e o alumínio, levando à fragilidade do processamento na liga de titânio e alumínio. Especialmente quando o teor de alumínio na liga excede 50% (proporção atômica), a resistência à oxidação da liga diminui repentinamente e a oxidação é severa. Ao mesmo tempo, a expansão exotérmica durante o processo de formação de liga pode facilmente gerar bolhas, contração de poros e porosidade, resultando em alta porosidade da liga e incapacidade de atender aos requisitos de densidade do material alvo. Existem dois métodos principais para preparar ligas de titânio e alumínio:

1、 Método de aquecimento de corrente forte

Este método utiliza um dispositivo que pode obter alta corrente, que aquece o pó de titânio e o pó de alumínio, aplica pressão e faz com que o alumínio e o titânio reajam para formar alvos de liga de titânio e alumínio. A densidade do produto alvo de liga de titânio e alumínio preparado por este método é> 99% e o tamanho do grão é ≤ 100 μm. Pureza>99%. A faixa de composição do material alvo da liga de titânio e alumínio é: teor de titânio de 5% a 75% (proporção atômica) e o restante é teor de alumínio. Este método tem baixo custo e alta densidade de produto, podendo atender plenamente aos requisitos da produção industrial em larga escala.

2、 Método de sinterização por prensagem isostática a quente

Este método mistura pó de titânio e pó de alumínio, depois passa por carregamento de pó, pré-prensagem por prensagem isostática a frio, processo de desgaseificação e, em seguida, formação por prensagem isostática a quente. Finalmente, a sinterização e o processamento são realizados para obter alvos de liga de titânio e alumínio. O alvo de liga de titânio e alumínio preparado por este método possui características de alta densidade, sem poros, sem porosidade e segregação, composição uniforme e grãos finos. O método de prensagem isostática a quente é atualmente o principal método para a preparação de alvos de pulverização catódica de ligas de titânio e alumínio exigidos pela indústria de revestimentos.


Horário da postagem: 10 de maio de 2023