സ്‌പട്ടറിംഗ് ലക്ഷ്യങ്ങൾക്കായുള്ള മാഗ്നെട്രോൺ സ്പട്ടറിംഗ് തത്വങ്ങൾ

പല ഉപയോക്താക്കളും സ്‌പട്ടറിംഗ് ടാർഗെറ്റിൻ്റെ ഉൽപ്പന്നത്തെക്കുറിച്ച് കേട്ടിട്ടുണ്ടാകണം, പക്ഷേ ടാർഗെറ്റിൻ്റെ സ്‌പട്ടറിംഗ് തത്വം താരതമ്യേന അപരിചിതമായിരിക്കണം. ഇപ്പോൾ, എഡിറ്റർറിച്ച് സ്പെഷ്യൽ മെറ്റീരിയൽ (RSM) സ്പട്ടറിംഗ് ടാർഗെറ്റിൻ്റെ മാഗ്നെട്രോൺ സ്പട്ടറിംഗ് തത്വങ്ങൾ പങ്കിടുന്നു.

സ്‌പട്ടർഡ് ടാർഗെറ്റ് ഇലക്‌ട്രോഡിനും (കാഥോഡ്) ആനോഡിനും ഇടയിൽ ഒരു ഓർത്തോഗണൽ കാന്തികക്ഷേത്രവും വൈദ്യുത മണ്ഡലവും ചേർക്കുന്നു, ആവശ്യമായ നിഷ്ക്രിയ വാതകം (സാധാരണയായി ആർ വാതകം) ഉയർന്ന വാക്വം ചേമ്പറിലേക്ക് നിറയ്ക്കുന്നു, സ്ഥിരമായ കാന്തം 250 ~ 350 ഗാസ് കാന്തികക്ഷേത്രം ഉണ്ടാക്കുന്നു. ടാർഗെറ്റ് ഡാറ്റയുടെ ഉപരിതലം, ഉയർന്ന വോൾട്ടേജ് ഇലക്ട്രിക് ഫീൽഡ് ഉപയോഗിച്ച് ഓർത്തോഗണൽ വൈദ്യുതകാന്തിക മണ്ഡലം രൂപം കൊള്ളുന്നു.

വൈദ്യുത മണ്ഡലത്തിൻ്റെ സ്വാധീനത്തിൽ, ആർ വാതകം പോസിറ്റീവ് അയോണുകളും ഇലക്ട്രോണുകളും ആയി അയോണീകരിക്കപ്പെടുന്നു. ലക്ഷ്യത്തിലേക്ക് ഒരു നിശ്ചിത നെഗറ്റീവ് ഉയർന്ന വോൾട്ടേജ് ചേർക്കുന്നു. ടാർഗെറ്റ് ധ്രുവത്തിൽ നിന്ന് പുറപ്പെടുവിക്കുന്ന ഇലക്ട്രോണുകളിൽ കാന്തികക്ഷേത്രത്തിൻ്റെ സ്വാധീനവും പ്രവർത്തന വാതകത്തിൻ്റെ അയോണൈസേഷൻ സാധ്യതയും വർദ്ധിക്കുകയും കാഥോഡിന് സമീപം ഉയർന്ന സാന്ദ്രതയുള്ള പ്ലാസ്മ രൂപപ്പെടുകയും ചെയ്യുന്നു. ലോറൻ്റ്സ് ശക്തിയുടെ സ്വാധീനത്തിൽ, Ar അയോണുകൾ ലക്ഷ്യ പ്രതലത്തിലേക്ക് ത്വരിതപ്പെടുത്തുകയും ലക്ഷ്യ പ്രതലത്തിൽ വളരെ ഉയർന്ന വേഗതയിൽ ബോംബെറിയുകയും ചെയ്യുന്നു, ലക്ഷ്യത്തിലെ ചിതറിക്കിടക്കുന്ന ആറ്റങ്ങൾ മൊമെൻ്റം കൺവേർഷൻ തത്വം പിന്തുടരുകയും ഉയർന്ന ഗതികോർജ്ജം ഉപയോഗിച്ച് ടാർഗെറ്റ് ഉപരിതലത്തിൽ നിന്ന് അടിവസ്ത്രത്തിലേക്ക് പറക്കുകയും ചെയ്യുന്നു. സിനിമകൾ നിക്ഷേപിക്കാൻ.

മാഗ്നെട്രോൺ സ്‌പട്ടറിംഗിനെ സാധാരണയായി രണ്ട് തരങ്ങളായി തിരിച്ചിരിക്കുന്നു: ട്രിബ്യൂട്ടറി സ്‌പട്ടറിംഗ്, ആർഎഫ് സ്‌പട്ടറിംഗ്. ട്രിബ്യൂട്ടറി സ്‌പട്ടറിംഗ് ഉപകരണങ്ങളുടെ തത്വം ലളിതമാണ്, ലോഹം സ്‌പട്ടറിംഗ് ചെയ്യുമ്പോൾ അതിൻ്റെ നിരക്കും വേഗത്തിലാണ്. RF സ്പട്ടറിംഗ് വ്യാപകമായി ഉപയോഗിക്കുന്നു. ചാലക വസ്തുക്കളെ സ്പട്ടർ ചെയ്യുന്നതിനു പുറമേ, ചാലകമല്ലാത്ത വസ്തുക്കളും ഇതിന് സ്പട്ടർ ചെയ്യാൻ കഴിയും. അതേ സമയം, ഓക്സൈഡുകൾ, നൈട്രൈഡുകൾ, കാർബൈഡുകൾ, മറ്റ് സംയുക്തങ്ങൾ എന്നിവയുടെ പദാർത്ഥങ്ങൾ തയ്യാറാക്കാൻ റിയാക്ടീവ് സ്പട്ടറിംഗ് നടത്തുന്നു. RF ഫ്രീക്വൻസി വർദ്ധിപ്പിച്ചാൽ, അത് മൈക്രോവേവ് പ്ലാസ്മ സ്പട്ടറിംഗ് ആയി മാറും. ഇപ്പോൾ, ഇലക്ട്രോൺ സൈക്ലോട്രോൺ റെസൊണൻസ് (ECR) മൈക്രോവേവ് പ്ലാസ്മ സ്പട്ടറിംഗ് ആണ് സാധാരണയായി ഉപയോഗിക്കുന്നത്.