Սփռոցային ծածկույթի տեխնոլոգիայի առավելություններն ու թերությունները

Վերջերս շատ օգտատերեր հետաքրքրվել են ցողման ծածկույթի տեխնոլոգիայի առավելությունների և թերությունների մասին: Ըստ մեր հաճախորդների պահանջների, այժմ RSM տեխնոլոգիայի բաժնի փորձագետները կկիսվեն մեզ հետ՝ հույս ունենալով լուծել խնդիրները: Հավանաբար կան հետևյալ կետերը.

　　1, Անհավասարակշռված մագնետրոնային շեղում

Ենթադրենք, որ մագնիսական հոսքը, որն անցնում է մագնետրոնային ցրման կաթոդի ներքին և արտաքին մագնիսական բևեռների ծայրերով, հավասար չէ, դա անհավասարակշիռ մագնետրոնային ցրման կաթոդ է։ Սովորական մագնետրոնային ցողման կաթոդի մագնիսական դաշտը կենտրոնացած է թիրախային մակերեսի մոտ, մինչդեռ անհավասարակշիռ մագնետրոնային ցրման կաթոդի մագնիսական դաշտը ճառագայթում է թիրախից դուրս: Սովորական մագնետրոն կաթոդի մագնիսական դաշտը խստորեն սահմանափակում է պլազման թիրախային մակերեսի մոտ, մինչդեռ սուբստրատի մոտ գտնվող պլազման շատ թույլ է, և ենթաշերտը չի ռմբակոծվի ուժեղ իոններով և էլեկտրոններով: Ոչ հավասարակշռված մագնետրոն կաթոդի մագնիսական դաշտը կարող է երկարացնել պլազման թիրախային մակերեսից հեռու և ընկղմել ենթաշերտը:

　　2, Ռադիոհաճախականության (RF) ցողում

Մեկուսիչ թաղանթի նստեցման սկզբունքը. մեկուսիչ թիրախի հետևի մասում տեղադրված հաղորդիչի վրա կիրառվում է բացասական ներուժ: Փայլի արտանետման պլազմայում, երբ դրական իոնային ուղեցույցը արագանում է, այն ռմբակոծում է դիմացի մեկուսիչ թիրախը, որպեսզի ցատկի: Այս թրթռումը կարող է տևել ընդամենը 10-7 վայրկյան: Դրանից հետո մեկուսիչ թիրախի վրա կուտակված դրական լիցքով ձևավորված դրական ներուժը փոխհատուցում է հաղորդիչ ափսեի բացասական ներուժը, ուստի բարձր էներգիայի դրական իոնների ռմբակոծումը մեկուսիչ թիրախի վրա դադարեցվում է: Այս պահին, եթե էլեկտրամատակարարման բևեռականությունը փոխվի, էլեկտրոնները կռմբակոծեն մեկուսիչ թիթեղը և 10-9 վայրկյանում կչեզոքացնեն մեկուսիչ ափսեի դրական լիցքը՝ դրա պոտենցիալը դարձնելով զրոյի: Այս պահին էլեկտրամատակարարման բևեռականությունը փոխելը կարող է 10-7 վայրկյան թրթռում առաջացնել:

RF ցրման առավելությունները. և՛ մետաղական թիրախները, և՛ դիէլեկտրական թիրախները կարող են ցրվել:

　　3, DC մագնետրոնային շեղում

Մագնետրոնային ցրման ծածկույթի սարքավորումը մեծացնում է մագնիսական դաշտը հաստատուն ցրման կաթոդի թիրախում, օգտագործում է մագնիսական դաշտի Լորենցի ուժը էլեկտրական դաշտում էլեկտրոնների հետագիծը կապելու և երկարացնելու համար, մեծացնում է էլեկտրոնների և գազի ատոմների միջև բախման հնարավորությունը, մեծացնում է գազի ատոմների իոնացման արագությունը, մեծացնում է թիրախը ռմբակոծող բարձր էներգիայի իոնների քանակը և նվազեցնում բարձր էներգիայի էլեկտրոնների քանակը ռմբակոծում է պատված ենթաշերտը:

Հարթ մագնետրոնային ցրման առավելությունները.

1. Թիրախային հզորության խտությունը կարող է հասնել 12w/cm2;

2. Թիրախային լարումը կարող է հասնել 600 Վ;

3. Գազի ճնշումը կարող է հասնել 0,5pa-ի:

Հարթ մագնետրոնային ցրման թերությունները. թիրախը թռիչքուղու տարածքում ստեղծում է ցայտող ալիք, ամբողջ թիրախային մակերեսի փորագրումը անհավասար է, իսկ թիրախի օգտագործման արագությունը կազմում է ընդամենը 20%-30%:

　　4, Միջանկյալ հաճախականության AC մագնետրոնային շեղում

Դա վերաբերում է նրան, որ միջին հաճախականության AC մագնետրոնային ցրման սարքավորումներում սովորաբար նույն չափի և ձևի երկու թիրախ են կազմաձևվում կողք կողքի, որոնք հաճախ կոչվում են երկվորյակ թիրախներ: Դրանք կասեցված տեղակայանքներ են։ Սովորաբար երկու թիրախ են միաժամանակ աշխատում: Միջին հաճախականության AC մագնետրոնային ռեակտիվ թրթռման գործընթացում երկու թիրախները հերթով հանդես են գալիս որպես անոդ և կաթոդ, և նրանք գործում են որպես անոդային կաթոդ միմյանց նույն կիսաշրջանում: Երբ թիրախը գտնվում է բացասական կես ցիկլի պոտենցիալում, թիրախային մակերեսը ռմբակոծվում և ցրվում է դրական իոններով. Դրական կես ցիկլում պլազմայի էլեկտրոնները արագանում են թիրախային մակերեսին, որպեսզի չեզոքացնեն թիրախային մակերեսի մեկուսիչ մակերևույթի վրա կուտակված դրական լիցքը, ինչը ոչ միայն ճնշում է թիրախային մակերեսի բռնկումը, այլև վերացնում է « անոդի անհետացում»:

Միջանկյալ հաճախականության կրկնակի թիրախային ռեակտիվ թրթռման առավելություններն են.

(1) Ավանդման բարձր մակարդակ: Սիլիցիումային թիրախների համար միջին հաճախականության ռեակտիվ թրթռման տեղակայման արագությունը 10 անգամ գերազանցում է DC ռեակտիվ թրթռման արագությունը;

(2) ցողման գործընթացը կարող է կայունացվել սահմանված գործառնական կետում.

(3) «Բոցավառման» երեւույթը վերացված է. Պատրաստված մեկուսիչ թաղանթի թերության խտությունը մի քանի կարգով փոքր է, քան DC ռեակտիվ ցողման մեթոդը.

(4) Ենթաշերտի ավելի բարձր ջերմաստիճանը ձեռնտու է ֆիլմի որակը և կպչունությունը բարելավելու համար.

(5) Եթե էլեկտրամատակարարումը ավելի հեշտ է համապատասխանել թիրախին, քան ՌԴ էլեկտրամատակարարումը:

　　5, Ռեակտիվ մագնետրոնային ցրում

Թափման գործընթացում ռեակցիայի գազը սնվում է ցրված մասնիկների հետ արձագանքելու համար՝ բարդ թաղանթներ արտադրելու համար: Այն կարող է տրամադրել ռեակտիվ գազ՝ միաժամանակ թրթռող միացության թիրախի հետ արձագանքելու համար, ինչպես նաև կարող է տրամադրել ռեակտիվ գազ՝ ցայտող մետաղի կամ համաձուլվածքի թիրախի հետ միաժամանակ արձագանքելու համար՝ տվյալ քիմիական հարաբերակցությամբ բարդ թաղանթներ պատրաստելու համար:

Ռեակտիվ մագնետրոնային շաղախող բարդ թաղանթների առավելությունները.

(1) Օգտագործված թիրախային նյութերը և ռեակցիայի գազերն են թթվածինը, ազոտը, ածխաջրածինները և այլն, որոնք սովորաբար հեշտ է ձեռք բերել բարձր մաքրության արտադրանք, ինչը նպաստում է բարձր մաքրության միացությունների թաղանթների պատրաստմանը.

(2) Ընթացքի պարամետրերը կարգավորելով՝ կարող են պատրաստվել քիմիական կամ ոչ քիմիական միացությունների թաղանթներ, որպեսզի թաղանթների բնութագրերը կարող են ճշգրտվել.

(3) Ենթաշերտի ջերմաստիճանը բարձր չէ, և հիմքի վրա քիչ սահմանափակումներ կան.

(4) Այն հարմար է մեծ տարածքի միասնական ծածկույթի համար և իրականացնում է արդյունաբերական արտադրություն:

Ռեակտիվ մագնետրոնային ցրման գործընթացում հեշտ է առաջանալ միացությունների անկայունությունը, որը հիմնականում ներառում է.

(1) Դժվար է պատրաստել բարդ թիրախներ.

2) թիրախի թունավորման և ցողման գործընթացի անկայունության հետևանքով առաջացած աղեղի հարվածի (աղեղի արտանետման) երևույթը.

(3) Ցածր ցողման նստվածքի արագություն;

(4) Ֆիլմի թերության խտությունը բարձր է: