Di salên dawî de, bi pêşkeftina teknolojiyên yekbûyî (IC) re, serîlêdanên têkildar ên dorhêlên yekbûyî bi lez pêş ketin. Hedefa rijandina alema aluminiumê ya bi paqijiya pir bilind, wekî materyalek piştgirî di çêkirina têkelên metalê yên yekbûyî de, di lêkolîna navxweyî ya vê dawiyê de bûye mijarek germ. edîtorê RSM-ê dê taybetmendiyên armanca şûştina alaya aluminiumê ya paqijiya bilind nîşanî me bide.
Ji bo ku hê bêtir karbidestiya şûştinê ya mebesta kişandina magnetronê baştir bikin û qalîteya fîlimên depokirî misoger bikin, hejmareke mezin ji ceribandinan destnîşan dikin ku ji bo pêkhatin, mîkrostruktur û rêwerziya gewherê armanca şûştina alema aluminiumê ya paqijiya ultra-bilind hene.
Pîvana genim û arastekirina dexlê armancê bandorek mezin li ser amadekirin û taybetmendiyên fîlimên IC-ê dike. Encam nîşan didin ku rêjeya depokirinê bi zêdebûna mezinahiya genim re kêm dibe; Ji bo hedefa rijandinê ya bi heman pêkhateyî, rêjeya rijandina hedefa bi gewherê piçûktir ji ya hedefa bi gewherê mezin zûtir e; Her ku mezinahiya genimê armancê yekdengtir be, belavkirina qalindahiya fîlimên depokirî jî yekrengtir e.
Di binê heman amûra şûştinê û pîvanên pêvajoyê de, rêjeya avêtina mebesta alava Al Cu bi zêdebûna dendika atomê re zêde dibe, lê ew bi gelemperî di navberekê de domdar e. Tesîra gewhera genim li ser rêjeya rijandinê ji ber guheztina dendika atomê bi guherîna mezinahiya genim re ye; Rêjeya hilweşandinê bi giranî ji hêla rêgeziya genimê ya hedefa alloya Al Cu ve tê bandor kirin. Li ser bingeha dabînkirina rêjeya (200) firokeyên krîstal, zêdebûna rêjeya (111), (220) û (311) firokeyên krîstal dê rêjeya razanê zêde bike.
Pîvana dexl û arastekirina dexlê ya armancên alema aluminiumê ya paqijiya ultra-bilind bi gelemperî ji hêla homojenkirina ingotê, xebata germ û vejandina vejenê ve têne rêve kirin û têne kontrol kirin. Bi pêşkeftina mezinahiya waferê bi 20.32cm (8in) û 30.48cm (12in), mezinahiya armancê jî zêde dibe, ku ev hewcedariyên bilindtir ji bo armancên şûştina alema aluminiumê ya paqijiya ultra-bilind derdixe pêş. Ji bo ku qalîteya fîlimê û hilberîna fîlimê were misoger kirin, pêdivî ye ku pîvanên hilberandina armancê bi hişkî werin kontrol kirin da ku mîkrosaziya armancê yekalî bike û arastekirina gewr divê xwedan xêzên balafirê yên bihêz (200) û (220) be.
Dema şandinê: Jun-30-2022