វិធីសម្អាតគោលដៅដែក

គោលបំណងនៃការសម្អាតគោលដៅគឺដើម្បីលុបធូលី ឬភាពកខ្វក់ដែលអាចកើតមានលើផ្ទៃគោលដៅ។ ឥឡូវនេះ អ្នកនិពន្ធនៃ Rich Special Material Co., LTD.(RSM) នឹងចែករំលែកជាមួយអ្នកអំពីជំហានទាំងបួនដើម្បីសម្អាតគោលដៅលោហៈ៖

ជំហានដំបូងគឺត្រូវសម្អាតដោយក្រណាត់ទន់គ្មានជាតិសរសៃដែលត្រាំក្នុងអាសេតូន។

ជំហានទីពីរគឺស្រដៀងទៅនឹងជំហានដំបូង ការលាងសម្អាតជាមួយនឹងជាតិអាល់កុល;

ជំហានទី 3: លាងសម្អាតដោយទឹក deionized ។ បន្ទាប់ពីត្រូវបានលាងសម្អាតដោយទឹក deionized គោលដៅត្រូវបានដាក់នៅក្នុង oven និងស្ងួតនៅ 100 ℃សម្រាប់ 30 នាទី។ គោលដៅអុកស៊ីត និងសេរ៉ាមិចគួរតែត្រូវបានសម្អាតដោយ "ក្រណាត់គ្មានជាតិសរសៃ"។

ជំហានទីបួនគឺត្រូវលាងសម្អាតគោលដៅជាមួយ argon ជាមួយនឹងសម្ពាធខ្ពស់ និងឧស្ម័នទឹកទាប ដើម្បីដកភាគល្អិតមិនបរិសុទ្ធទាំងអស់ដែលអាចបង្កើតជាធ្នូនៅក្នុងប្រព័ន្ធ sputtering ។

ចំណាំ៖ នៅពេលដោះស្រាយគោលដៅ សូមពាក់ស្រោមដៃថែទាំដែលស្អាត និងគ្មានពន្លឺ ដើម្បីការពារការប៉ះពាល់ដោយផ្ទាល់ជាមួយគោលដៅដោយដៃ។