สาเหตุของการแตกเป้าหมายสปัตเตอร์ริ่งและมาตรการรับมือ

การแตกร้าวในเป้าหมายสปัตเตอร์มักเกิดขึ้นในเป้าหมายการสปัตเตอร์เซรามิก เช่น ออกไซด์ คาร์ไบด์ ไนไตรด์ และวัสดุเปราะ เช่น โครเมียม พลวง บิสมัท ตอนนี้ให้ผู้เชี่ยวชาญด้านเทคนิคของ RSM อธิบายว่าเหตุใดเป้าหมายสปัตเตอร์จึงแตก และมาตรการป้องกันใดบ้างที่สามารถนำมาใช้เพื่อหลีกเลี่ยงสถานการณ์นี้

เป้าหมายที่เป็นเซรามิกหรือวัสดุเปราะมักจะมีความเค้นโดยธรรมชาติอยู่เสมอ ความเครียดภายในเหล่านี้ถูกสร้างขึ้นในกระบวนการผลิตเป้าหมาย นอกจากนี้ ความเค้นเหล่านี้ไม่ได้ถูกกำจัดออกไปอย่างสมบูรณ์โดยกระบวนการหลอม เนื่องจากเป็นลักษณะเฉพาะของวัสดุเหล่านี้ ในกระบวนการสปัตเตอร์ การระดมยิงไอออนของแก๊สจะถ่ายเทโมเมนตัมของพวกมันไปยังอะตอมเป้าหมาย ทำให้พวกมันมีพลังงานเพียงพอที่จะแยกพวกมันออกจากโครงตาข่าย การถ่ายโอนโมเมนตัมคายความร้อนนี้ทำให้อุณหภูมิเป้าหมายเพิ่มขึ้น ซึ่งอาจสูงถึง 1000000 ℃ ในระดับอะตอม

การเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิอย่างฉับพลันเหล่านี้จะเพิ่มความเครียดภายในที่มีอยู่ในเป้าหมายหลายเท่า ในกรณีนี้ หากกระจายความร้อนไม่ถูกต้อง เป้าหมายอาจแตกหักได้ เพื่อป้องกันไม่ให้เป้าหมายแตก ควรเน้นการกระจายความร้อน จำเป็นต้องมีกลไกการระบายความร้อนด้วยน้ำเพื่อขจัดพลังงานความร้อนที่ไม่ต้องการออกจากเป้าหมาย อีกประเด็นที่ต้องพิจารณาคือการเพิ่มอำนาจ การใช้พลังงานมากเกินไปในระยะเวลาอันสั้นจะทำให้เกิดการเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิอย่างฉับพลันไปยังเป้าหมายด้วย นอกจากนี้ เราขอแนะนำให้ผูกเป้าหมายเหล่านี้เข้ากับแบ็คเพลน ซึ่งไม่เพียงแต่ให้การสนับสนุนเป้าหมายเท่านั้น แต่ยังส่งเสริมการแลกเปลี่ยนความร้อนที่ดีขึ้นระหว่างเป้าหมายและน้ำอีกด้วย หากเป้าหมายมีรอยแตกร้าวแต่ติดเข้ากับแผ่นหลัง ก็ยังสามารถใช้งานได้

บริษัท ริช สเปเชียล แมททีเรียลส์ จำกัด สามารถจัดหาเป้าหมายสปัตเตอร์ด้วยแบ็คเพลนได้ สามารถปรับแต่งตามความต้องการของลูกค้าในด้านวัสดุ ความหนา และประเภทการยึดติด