Materiały docelowe niobowe są stosowane głównie w powłokach optycznych, powłokach materiałów do inżynierii powierzchni i przemyśle powłokowym, takich jak odporność na ciepło, odporność na korozję i wysoka przewodność. W dziedzinie powłok optycznych stosuje się go głównie w okulistycznych produktach optycznych, soczewkach, optyce precyzyjnej, powłokach wielkopowierzchniowych, powłokach 3D i innych aspektach.
Materiał tarczy niobowej jest zwykle nazywany gołym celem. Najpierw jest on przyspawany do miedzianej tarczy tylnej, a następnie poddawany napylaniu katodowemu w celu osadzenia atomów niobu w postaci tlenków na materiale podłoża, uzyskując powłokę napylaną. Wraz z ciągłym pogłębianiem i rozszerzaniem technologii i zastosowań tarczy niobowej, wymagania dotyczące jednorodności mikrostruktury tarczy niobowej wzrosły, objawiając się głównie w trzech aspektach: rozdrobnieniu wielkości ziarna, braku oczywistej orientacji tekstury i zwiększonej czystości chemicznej.
Jednolity rozkład mikrostruktury i właściwości w całym tarczy ma kluczowe znaczenie dla zapewnienia wydajności rozpylania materiałów tarczy niobowej. Powierzchnia tarcz niobowych spotykana w produkcji przemysłowej zwykle wykazuje regularne wzory, które w dużym stopniu wpływają na skuteczność rozpylania tarcz. Jak możemy poprawić stopień wykorzystania celów?
Badania wykazały, że zawartość zanieczyszczeń (czystość docelowa) jest ważnym czynnikiem wpływającym na czystość. Skład chemiczny surowców jest nierówny, a zanieczyszczenia są wzbogacone. Po późniejszej obróbce walcowania na powierzchni materiału tarczy niobowej tworzą się regularne wzory; Wyeliminowanie nierównomiernego rozmieszczenia składników surowców i wzbogacenie zanieczyszczeń pozwala uniknąć tworzenia się regularnych wzorów na powierzchni tarcz niobowych. Wpływ wielkości ziarna i składu strukturalnego na materiał docelowy może być prawie nieistotny.
Czas publikacji: 19 czerwca 2023 r